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11 Apr
一種用真空鍍膜機涂布功能膜的方法
鍍膜功能膜，有兩種實現(xiàn)的方法，CVD法，PVD法，今天小編為大家介紹一下， 真空鍍膜機鍍膜功能膜的方法，采用PVD鍍膜，希望對大家有所幫助:
PVD方法使用蒸發(fā)和濺射等物理形式的物質(zhì)目標源刪除,然后攜帶能量通過真空或真空空間使蒸汽離子沉積到襯底表面形成一層膜或部分,通過氣相的反應(yīng)過程,氣相反應(yīng)發(fā)生金屬原子的蒸發(fā)和濺射，從而在工具表面沉積所需的化合物。PVD涂層可涂層鈦氮化物、鈦碳氮化物、鋁鈦氮化物，以及各種難熔金屬碳化物和氮化物。
目前常用的PvD方法有低壓電子束蒸發(fā)(LVEE)、陰極電子電弧沉積(CAD)、晶體管高壓電子束蒸發(fā)(THVEE)、非平衡磁控濺射(UMS)、離子束輔助沉積(IAD)和動態(tài)離子束混合(DIM)。主要區(qū)別在于沉積材料的汽化方式和等離子體產(chǎn)生方式不同，導(dǎo)致成膜速度和成膜質(zhì)量不同。
PVD技術(shù)主要應(yīng)用于整體硬質(zhì)合金刀具和高速工具鋼刀具的表面處理，并已廣泛應(yīng)用于硬質(zhì)合金鉆頭、銑刀、鉸刀、絲錐、異形刀具、焊接工具等的涂層處理。
與CVD相比，PVD有以下優(yōu)點:
涂層溫度(300~500℃)低于高速工具鋼的回火溫度，因此不會損害高速工具鋼刀具的硬度和尺寸精度，涂層后無需熱處理。涂層的有效厚度只有幾微米，所以可以保證刀具的原始精度，適合于涂層精度高的刀具。涂層純度高，致密性好，涂層與基體結(jié)合牢固。涂層的性能不受基體材料的影響。涂層均勻，切削刃和圓弧無增厚或圓角現(xiàn)象，使復(fù)雜刀具能得到均勻的涂層。無脫碳相，涂層無氯腐蝕和CVD法氫脆變形引起的脆性開裂。涂層刀片強度高。工作過程干凈、無污染、無污染。
目前，真空鍍膜機的PVD技術(shù)不僅提高了膜與刀具基體材料的結(jié)合強度，而且使鍍膜成分從單一鍍層發(fā)展到TiC、TiCN、ZrN、CrN、MoS2、TIAIN、TiAICN、Tin-Ain、CN等多種復(fù)合鍍層。PVD涂層工具質(zhì)量有一個新的突破,這部電影涂層不僅結(jié)合強度高,硬度接近CBN、良好的抗氧化性能,并能有效地控制精密工具邊緣的形狀和精度,高精度加工,其加工精度不低于裸露的工具。