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18 Jul

真空鍍膜機工作環(huán)境要求

發(fā)布時間:2022-07-18

真空鍍膜機工作環(huán)境要求
真空鍍膜機主要是指一種需要在高真空下進行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、分子束外延、PLD激光濺射沉積等多種。其主要思想分為蒸發(fā)和濺射。
真空鍍膜機工作環(huán)境要求:
真空鍍膜設備應在真空條件下工作,因此設備應滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求一般包括真空設備對實驗室(或車間)溫度、空氣和其他周圍環(huán)境中顆粒物的要求,以及對真空或真空中零件或表面的要求。
這兩個方面密切相關。周圍環(huán)境直接影響真空設備的正常使用;真空室或安裝在真空設備中的零件是否清潔直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量水蒸氣和灰塵,則在不清潔真空室的情況下,使用油封機械泵泵送很難達到預期的真空度。眾所周知,油封機械泵不應泵出含有對金屬有腐蝕性且對真空油有反應的顆粒粉塵的氣體。水蒸氣是一種可冷凝的氣體。當泵出大量可凝氣體時,對泵油的污染將更加嚴重。因此,泵的極限真空將降低,泵的泵送性能將受損。
工業(yè)環(huán)境中的粉塵以粉狀體、無標題眼和粉塵為特征。粉末是處于粉末或固體顆粒聚集或分散狀態(tài)的物質(zhì)。所謂粉末是指微小固體顆粒的集合,顆粒是指可以逐個計數(shù)的微小物質(zhì)。煙霧是一種物質(zhì)系統(tǒng),其中固體或液體的小顆粒以漂浮狀態(tài)存在于氣體中。處于顆粒狀狀態(tài)的物質(zhì),無論是固體還是液體,統(tǒng)稱為塵埃粒子??諝馇鍧嵍葮藴视煞蹓m粒徑大小確定,從而定制潔凈室等級。它不僅適用于有清潔要求的工業(yè)部門,也適用于清潔環(huán)境的真空要求。