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27
Jun
真空鍍膜的三種形式介紹
發(fā)布時間:2022-06-27
真空鍍膜的三種形式介紹
介紹了真空鍍膜的三種形式：發(fā)汗法、濺射法和離子鍍法。發(fā)汗涂料是將某些物質(zhì)加熱、蒸發(fā)，使其在固體表面堆積而成，稱為發(fā)汗涂料。法拉第在1857年首次提出這種方法，現(xiàn)在它已成為一種常見的涂層技術(shù)。
金屬、化合物等發(fā)汗物質(zhì)置于坩堝內(nèi)或懸浮在熱線上作為蒸發(fā)源，金屬、陶瓷、塑料等基材上的鍍件置于坩堝前。將系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝，使材料在其中蒸發(fā)。蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝的形式聚集在基質(zhì)表面。薄膜的厚度從幾百埃到幾微米不等。薄膜厚度由發(fā)汗源的發(fā)汗速率和發(fā)汗時間（或材料負(fù)荷）決定，并與發(fā)汗源截面與基體之間的距離有關(guān)。
對于大面積涂層，通常采用旋轉(zhuǎn)基體或多個蒸發(fā)源來保證涂層厚度均勻。蒸發(fā)源與基體之間的距離應(yīng)小于殘余氣體中蒸發(fā)分子的均勻自由程，以避免蒸發(fā)分子與殘余氣體碰撞產(chǎn)生的化學(xué)效應(yīng)。蒸氣分子的均勻動能在0.1～0.2ev之間。
